離子滲氮的優點：與氣體滲氮相比，離子滲氮具有許多優點，主要表象在：1、滲速快等離子體不僅供氮化能力強，而且可使工件表面活化，產生加速吸收和擴散的缺陷，因而離子滲氮可以大大縮短滲氮時間，特別是淺層滲氮時更為突出。例如滲氮層深度在0.3~0.5mm時，離子滲氮的時間僅為普通氣體滲氮時間的1/3~1/5；2、滲層組織易于控制、脆性小氣體滲氮工件表面會出現20μm以上的化合物層，是由ε+γˊ兩相組成的不均勻混合物層，里層則為擴散層。因此，在化合物層內產生三向顯微應力，若在此應力方向上再略施加外力，就會產生微小裂紋。此裂紋逐漸擴展而使整個化合物層剝落。含鉻、鋁滲氮鋼的化合物層很脆，氣體滲氮后均要把它磨去后才能使用。離子滲氮可以通過控制氣氛中的氮和碳的含量比，或N₂和H₂的比例，可以獲得5~30μm厚的脆性較小的ε相單相層或0~8μm厚的γˊ相單相層，也可得到韌性更優的無化合物層而僅有擴散層的滲氮層。這樣可以不需要磨削直接裝機使用；3、工件變形小因離子滲氮滲速快，所以滲氮時間大大縮短，又由于離子滲氮可以在更低的溫度下進行（事實上350℃以上離子滲氮就有明顯的硬化效果），并且陰極濺射作用可以彌補部分由于滲氮而造成的尺寸膨脹，真空加熱、真空冷卻可以控制加熱速度，使之均勻，所以變形量比氣體滲氮要小；4、節能、省氣離子滲氮時，由于采用輝光放電加熱工件，電能利用率高（主要集中消耗在工件上），與其它滲氮法的外熱式裝置相比，耗電較少。此外，因離子滲氮速度快，周期短，則必然比普通氣體氮化能耗低。據統計，電能消耗僅為氣體滲氮的40%~70%。離子滲氮是在66.5~798Pa低氣壓下進行的，離子滲氮的氣壓只相當于普通氣體滲氮的百分之一以下，因此耗氣量極少，僅為氣體滲氮的百分之幾；5、無毒、無臭、無公害氣體滲氮，鹽浴滲氮均有污染問題。離子滲氮可以用N₂+H₂、分解氨，無污染問題。即使采用氨氣進行離子滲氮，由于壓力很低，使用量極少，也不會產生公害及爆炸問題。除上述優點之外，離子滲氮還具有滲層性能（耐磨性、耐蝕性等）優于氣體滲氮，設備維護費用低，使用壽命長，工作勞動強度小的特點。

       離子滲氮的不足之處：1、離子滲氮設備相對比較復雜，一次性的設備投資通常比氣體滲氮高；2、先進的工藝裝備對勞動者的素質要求較高；3、準確測定零件溫度較困難；4、離子滲氮的溫度場是不均勻的溫度場，要使所裝各工件（尤其是混裝）溫度均勻一致較困難，需積累一定的經驗。