氣體滲氮一般以提高金屬的耐磨性為主要目的，因此需要獲得高的表面硬度。它適用于38CrMoAl等滲氮鋼。氮化處理滲氮后工件表面硬度可達HV850～1200。滲氮溫度低，工件畸變小，可用于精度要求高、又有耐磨要求的零件，如鏜床鏜桿和主軸、磨床主軸、氣缸套筒等。但由于滲氮層較薄，不適于承受重載的耐磨零件。
        氣體滲氮可采用一般滲氮法（即等溫滲氮）或多段（二段、三段）滲氮法。前者是在整個滲氮過程中滲氮溫度和氨氣分解率保持不變。溫度一般在480～520℃之間，氨氣分解率為15～30％，保溫時間近80小時。這種工藝適用于滲層淺、畸變要求嚴、硬度要求高的零件，但處理時間過長。多段滲氮是在整個滲氮過程中按不同階段分別采用不同溫度、不同氨分解率、不同時間進行滲氮和擴散。
        爐壓對氣體滲氮的作用有以下幾方面：
        1、提高爐內氣壓可以增加零件表面的吸附量
        在顯微鏡下觀察金屬表面是凹凸不平的。從化學觀點看，這些尖角、凸出邊緣上的原子或離子，他們的化合價大部分沒有達到飽和，化學性質最活潑，容易和外界的分子結合，這些部位稱為活性中心。金屬表面依靠未飽和化合價吸附氣體分子稱為化學吸附。此外，依靠引力吸附氣體分子，稱為物理吸附。不論那種吸附，根據物理化學原理，金屬表面所吸附的氣體量，由溫度和壓力決定。當溫度恒定時，決定于氣體壓力。
        2、提高爐壓，增加氣體分子的動能
        氣體壓強是分子碰撞力的宏觀表現。當爐壓提高時，氨氣分子的動能大大提高，對于克服金屬表面的各種障礙和阻力大有幫助，增加表面吸附量，促進界面反應。
        3、提高爐壓可以提高界面反應速率
        4、增高爐壓可以提高滲氮氣氛的活度
        5、提高爐壓可以提高狹縫、深孔、盲孔、小孔等的滲氮能力
        這些部位由于通氣截面小，氣體流動受阻造成氣體流速、流量減小，靠近管壁附近的氣體幾乎不流動，形成“粘滯流”管道中粘滯流的流量qν與氣體的密度和壓力梯度成正比。當壓力提高時，氣體密度提高，壓力梯度也大幅度提高，從而促進這些部位氨氣的流量增加，提高滲氮能力。實踐證明提高壓力后，這些部位滲層優良。
        以上理論，在生產實踐中得以驗證是正確的。