對于低真空測量儀表，尤其應用在離子滲氮設備上都不很理想。目前國內外采用的是壓縮式真空計、電阻真空計和膜片式真空計。
1.真空測量儀表
1）壓縮式轉動真空計
采用壓縮式轉動真空計可以測量爐內非可凝性氣體的壓強，測得數值的重復性好，也較正確，但不能連續測量。因有水銀蒸發，使用時不宜與爐子長期聯通，每次測定完畢，應將真空皮管夾緊密封。在沒有正確測量儀表的條件下，尤其是工藝試驗需要較準確測量壓強時
2）電阻真空計
利用熱導原理制成的電阻真空計，是一種價格較為便宜的儀表。但在離子滲氮中應用，由于氫氣的存在，它的熱導率與氮、空氣等比較，相差近七倍，故其所測數值誤差大，尤其在高壓強時指示值能超出量程，但作為爐體極限真空度或起輝前真空度的測試，還可使用。
3）膜片式真空計
日本離子滲氮設備配帶膜片式真空計和我國半自動控制型離子滲氮設備配帶的膜片式真空計，都是在膜片上裝有應變元件組成電橋，規管一端接參考真空室，一端接被測爐體的型式。試用中發現這種真空計和被測氣體的成分關系不大，但有零點飄移和膜片的復原時間較長等缺點，且價格較貴。
2.爐壓控制系統
離子滲氮爐內的氣壓是氣流動態平衡的結果，爐壓控制可以采用固定抽氣速率，調整進氣流量或無固定進氣流量，調整抽氣速度兩種方法來實現。